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LSV3-緊湊準分子激光微加工系統
商品貨號:ECS002619
商品品牌:Optec
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詳細介紹

LSV3-小型微加工系統

極短的準分子激光脈沖輸出10-20mJ,相當于兆瓦的峰值功率,可以應用在快速成型,微加工和微電子領域。
可用于生物芯片、聚酯、玻璃、硅片、薄金屬、陶瓷等材料的加工。
相比其它準分子激光器ATLEX的優勢:
  • 脈寬更短(4~6ns),尖峰能量密度更高.更適合高質量的材料加工
  • 空間相干性更好,空間長度>1~2mm
  • 更優秀的光束質量,使得基于微機械加工系統的ATL激光器能滿足大部分材料加工的要求
  • 光束定向更穩定.在大于20~60分鐘的長時間連續操作下,角偏差保持在200 µm 以內
  • 德國 ATL與比利時OPTEC合作開發的微加工系統,是目前世界范圍內最頂尖的小型準分子微加工系統。
特性和規格:

機器類型
LSV3頭部含n.a。0.2 193nm鏡頭, 同軸照明及顏色聚焦。TTL 檢視。
結構
黑色亞光處理,焊接鋼框架,輝長巖基地,橋形結構,蜂巢形光學控制臺,光學滑軌。
激光源
ATL Atlex準分子激光。
能量控制
AT4010 5-85%手動,外加通門控制
面罩的光束控制
動態系統鏡面
面罩
機械線性順序選擇器
德馬格設計
德馬格開關:10X & 16X
目標成像分辨率
1.5μm
目標區
達10J/cm2
零件支撐
TBD
零件移動
100×100mm 運動區域,150×150mm 選擇范圍
位置重復性
1μm
速度
200mm/s(受軟件限制)
系統控制
工業PC, A3200 控制器,過程功率2010
Beath路徑
管式,沖刷式
安全性
互鎖功能,符合CE標準,輕型塔式

 
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