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IPEX840/860系列工業級準分子激光器
IPEX840/860 Series Industrial Excimer Lasers
商品貨號:ECS002675
商品品牌:LMI
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詳細介紹

IPEXTM 840/860系列工業級準分子激光器

應用于電子、通信、半導體、醫療設備和脈沖激光沉積的工業級準分子激光器

ª 采用ICONTM技術,延長氣體壽命,降低成本

ª EasyClean自動密封鏡片功能,可在清洗更換鏡片時密封激光腔

ª 可選高亮度光學元件,來滿足要求小發散角和長相干長度的應用

ª 高穩定鏡片支架可獲得極高的光束指向精度

ª 易于集成到工業加工系統

IPEX-840/860系列準分子激光器性能優越、可靠性高,廣泛適用于使用要求高、生產負荷重的各種工業制造領域,如電子、半導體和醫療設備制備以及脈沖激光沉積(PLD)等應用。由于采用了ICONTM(鎳基集成陶瓷)技術,IPEX系列激光器既降低了運行成本,又能提供優秀的光學性能。對于需要長工作光路和小發散角(激光雷達),或需要長相干長度(FBG刻寫)以及需要改進聚焦性能的場合,可以選擇高亮度(非穩腔)鏡片。IPEX-840/860系列激光器具有易于使用、便于維護和運行經濟的特點,它將高精密準分子激光加工、低運行成本和高運行時間很好地結合在一起,是一款不可多得的優秀的準分子激光器。

特點

ª ICON激光腔

ª EasyClean自動密封鏡片功能

ª 先進的鏡片支架

ª 專利的腔鏡固定技術

ª 能量穩定控制

ª 預電離

ª 內部氣體過濾設備

優點

ª 氣體壽命長,更換時間間隔長,運行成本低

ª 簡化了光路維護,填充氣體和鈍化效果保持長久

ª 200μrad指向穩定性

ª 鏡片清潔重裝后不需要重新調節

ª 快速、精確、穩定的能量控制,可選內、外觸發和Burst工作模式

ª 優異的能量穩定性,≤1.5% (KrF)

ª 去除微粒,保持主鏡片潔凈

規格

激光器規格參數詳見產品手冊或者咨詢我司銷售。

商品標記

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